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晶圆贴膜撕膜机
晶圆减薄机
晶圆抛光机
减薄用砂轮
CMP抛光液
切割胶带贴膜和BG胶带撕膜
解决方案一
适用于凸点工艺晶圆/薄晶圆
DSC &特殊机械臂(可选)
软接触式工作垫/台
整个区域支持转移
解决方案二
适用于凸点工艺晶圆片/薄晶圆片
软接触式垫/台
适用于强粘BG胶带
紫外线照射(可选)
胶带剥落触发器
