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晶圆贴膜撕膜机
晶圆减薄机
晶圆抛光机
减薄用砂轮
CMP抛光液
TAIKO®晶圆安装(200mm)
在真空条件下安装胶带
非接触式晶圆处理(臂，工作台，校正台)
高性能真空室
高效封闭空间
高品质贴膜
■Applicable tape 适用的磁带
- ELEP HOLDER
■Applicable wafer 适用的晶片
- TAIKO® wafer 晶圆片(Ex. IGBT / MOS-FET)
