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    12英寸Si晶圆使用30000目的砂轮进行减薄，使用超微粒金刚石磨轮进行减薄、试着减薄到了最薄的程度

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    SiC晶圆薄化砂轮

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    LT/LN晶圆薄化砂轮

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    蓝宝石晶圆薄化砂轮

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