1、GNX200BHは超硬材料を研磨できる全自働グラインダーで、大出力主軸と高剛性鋳物を採用して、加工公差を大幅に縮小することができる。
2 . GNX200BHは、SiC炭化ケイ素ウエハ、GaN窒化ガリウムウエハなど、新たな硬い材料を原材料としたウエハの薄化研磨に優れている。
1、GNX200BHは超硬材料を研磨できる全自働グラインダーで、大出力主軸と高剛性鋳物を採用して、加工公差を大幅に縮小することができる。
2 . GNX200BHは、SiC炭化ケイ素ウエハ、GaN窒化ガリウムウエハなど、新たな硬い材料を原材料としたウエハの薄化研磨に優れている。
| 項目 | GNX200BH仕様 |
| 主軸 | ２軸、剛性が200Bより2倍強い |
| チャック | ３個 |
| ウエハ材質 | 炭化ケイ素、窒化ガリウム、シリコン、ガラス、マイクロメカシステム、など… |
| スピンドルモーターの出力 | 6.7KW |
| 装置サイズ、重量 | 1350 W x 2550 D x 1845 H（mm）、4300 Kg |
| 真空ポンプサイズ、重量 | 397 W x 755 D x 612 H （mm）、100 Kg |
