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ウェハグラインダー
ウェハポリッシャ
ウェハ対応フルオート保護テープ貼り付け機
ウェハ対応フルオート保護テープ剥離機
UV照射装置
砥石
CMPスラリー
GNX300BはBG研磨技術特許を持っている。１９９６年に岡本がDOWN FEED GRINDING 技術にて日本機械学会から技術賞を受賞した。主軸機械の精度は調整可能で、岡本自社製鋳造金の一体化構造が、劣化し憎く、精度持ちが長く、潤滑システムに完全な防護があり、異物の侵入による摩耗を回避できる。ウエハサイズ：6”、8”、12”の最大ウエハ厚さ：1000μm、全自動、半自動操作モードを切り替えることができ、17インチタッチディスプレイが操作簡単、気圧、電流、水流、厚さなどをモニタリングできる、研磨消耗品の消耗が小さく、加工コストが安く、研磨切屑が細かく、洗浄がよりしやすくなる。
1、GNX200BHは超硬材料を研磨できる全自働グラインダーで、大出力主軸と高剛性鋳物を採用して、加工公差を大幅に縮小することができる。
2 . GNX200BHは、SiC炭化ケイ素ウエハ、GaN窒化ガリウムウエハなど、新たな硬い材料を原材料としたウエハの薄化研磨に優れている。
1.研削加工技術：岡本がDOWN FEED GRINDING 技術にて日本機械学会から技術賞を受賞した。
2.机械精度の調整方法:スピンドルを通じて調整して、原点の定位を行うことができる、精度の調整はかなり高い;2か所で調節可能。
真空吸着ワークを用いて高精度な研削加工を行い、半自働研削設備
主要回転部にエアベアリングを使用することで、精度が劣化することなく、長期間安定した高精度を維持し、重研削に対応するため、装置本体は高剛性の主要部品で構成されている
