Product

製品センター

心をこめてサービスを創造し、心を込めて価値を創造し、持続的に奮闘し、利益の共有を実現する

ウェハグラインダー

ウェハポリッシャ

ウェハ対応フルオート保護テープ貼り付け機

ウェハ対応フルオート保護テープ剥離機

UV照射装置

砥石

CMPスラリー

BGテープ貼付機

DR3000III

BGテープ貼付機 DR3000III

製品の特徴

Bumping waferに適用

デスクヒーター機能(Max. 100deg.C)を搭載

ローラー加熱機能(Max. 80deg.C)があり

均一圧力


Warped waferに適用

真空吸着ロボットア‐ム

圧力板

真空吸着位置校正器


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パフォーマンスパラメータ

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