心をこめてサービスを創造し、心を込めて価値を創造し、持続的に奮闘し、利益の共有を実現する
ウェハグラインダー
ウェハポリッシャ
ウェハ対応フルオート保護テープ貼り付け機
ウェハ対応フルオート保護テープ剥離機
UV照射装置
砥石
CMPスラリー
BG保護テープ剥離機 HR9000
非接触ウエハ処理(転送アーム、作業台、位置決め校正器)
Warped waferに対応できる
クリーン処理:アラム
均一な応力安定テープ剥離:剥離棒による剥離
UV照射装置(UV照射効率測定用)
トリガーを剥離
敷地面積
BGテープ適用
UV硬化テープがおすすめ
適用ウエハー
- TAIKO®waferウエハー(ex.igbt / mos-fet)。
通常ウエハ(フラットウエハ)処理も可能
