Product

製品センター

心をこめてサービスを創造し、心を込めて価値を創造し、持続的に奮闘し、利益の共有を実現する

ウェハグラインダー

ウェハポリッシャ

ウェハ対応フルオート保護テープ貼り付け機

ウェハ対応フルオート保護テープ剥離機

UV照射装置

砥石

CMPスラリー

BG保護テープ剥離機

HR9300

BG保護テープ剥離機 HR9300

製品の特徴

非接触ウエハ処理(転送アーム、作業台、校正台)

Warped waferに対応

ロールオーバ機能を備えたウエハ転送ロボット

均一な応力安定テープ剥離:剥離棒による剥離

UV照射装置(UV照射効率測定用)

トリガーを剥離

パフォーマンスパラメータ

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BGテープ適用

UV硬化テープがおすすめ


適用ウエハー

TAIKO®wafer (ex.igbt / mos-fet)です。

通常ウエハ(フラットウエハ)処理も可能