ウエハーにテープを貼ります。
ロボットアームがウエハーを転送します
非接触ウエハ補正
タッチスクリーンは操作が簡単です
イオン発生器装備です
ネットワーク機能(オプション)です。
ロボットアームがウエハーを転送します
非接触ウエハ補正
タッチスクリーンは操作が簡単です
イオン発生器装備です
ネットワーク機能(オプション)です。
| ウエハ | 8”, 6”, 5” |
| 生産能力 | 77UHP(Standard) |
| 切断精度 | <+/-0.3mm |
| サイズ | W1,010 x D1,0200 x H1, 550mm |
| 電圧 | AC100V |
| 気圧 | 0.5MPa |
