心をこめてサービスを創造し、心を込めて価値を創造し、持続的に奮闘し、利益の共有を実現する
ウェハグラインダー
ウェハポリッシャ
ウェハ対応フルオート保護テープ貼り付け機
ウェハ対応フルオート保護テープ剥離機
UV照射装置
砥石
CMPスラリー
バックグラインド用の保護テープをウェハパターン面からはく離する、保護テープ剥離機
ロボットアームがウエハを転送
非接触ウエハ校正
タッチパネルによる簡易操作
イオン発生器装備
SECS/GEM機能搭載可能(オプション)
UV照射(オプション)
