心をこめてサービスを創造し、心を込めて価値を創造し、持続的に奮闘し、利益の共有を実現する
ウェハグラインダー
ウェハポリッシャ
ウェハ対応フルオート保護テープ貼り付け機
ウェハ対応フルオート保護テープ剥離機
UV照射装置
砥石
CMPスラリー
PNX332Bは、酸化層や金属膜だけでなく、ウエハ表面の損傷層も除去できる全自動ポリッシャー設備。同時に6枚のウエハを研磨することができる、8つの研磨ヘッドと3つの研磨台を搭載し、それぞれの研磨台に研磨液を供給する、3つの研磨バケツを搭載している。各研磨台はお客様のニーズに応じて粗投げや精密投げができる。
2枚ポリッシュプレートの軸、２枚チャックの軸を搭載し、同時に2枚のウエハをポリッシングすることができる。同時に２枚のポリッシュプレートを搭載し、各研磨台にそれぞれの研磨液を供給、各研磨台はお客様のニーズに応じて、純水と液剤を自動切り替えることができる
SPP800Sは半自動ポリッシャー設備で、酸化層や金属膜だけでなくウエハ表面の損傷層も除去できる。2枚チャックの軸、ポリッシュプレートの軸は含めて、高いスループットを実現できる。ユニークなソフトウェア、タッチスクリーンを備えていて、使いやすい。
CMPはウエハ表面の平滑化を助け、化学机械研磨パッドの手入れは安定したCMP研磨を保証するために必要。弊社はウェハの形状と仕様に対応する各種CMPドレッサーを提供している。
