2枚ポリッシュプレートの軸、２枚チャックの軸を搭載し、同時に2枚のウエハをポリッシングすることができる。同時に２枚のポリッシュプレートを搭載し、各研磨台にそれぞれの研磨液を供給、各研磨台はお客様のニーズに応じて、純水と液剤を自動切り替えることができる
2枚ポリッシュプレートの軸、２枚チャックの軸を搭載し、同時に2枚のウエハをポリッシングすることができる。同時に２枚のポリッシュプレートを搭載し、各研磨台にそれぞれの研磨液を供給、各研磨台はお客様のニーズに応じて、純水と液剤を自動切り替えることができる
| 項目 | PNX200L | |
| 装置サイズ(W×D×H) | mm | 1200×1950×2118 |
| ポリッシャー枚数 | - | 2枚 |
| 加工材料 | - | タンタル酸リチウムチップ、ニオブ酸リチウムチップ |
| 加工材最大サイズ | mm | MAX.φ200 |
