SPP800Sは半自動ポリッシャー設備で、酸化層や金属膜だけでなくウエハ表面の損傷層も除去できる。2枚チャックの軸、ポリッシュプレートの軸は含めて、高いスループットを実現できる。ユニークなソフトウェア、タッチスクリーンを備えていて、使いやすい。
SPP800Sは半自動ポリッシャー設備で、酸化層や金属膜だけでなくウエハ表面の損傷層も除去できる。2枚チャックの軸、ポリッシュプレートの軸は含めて、高いスループットを実現できる。ユニークなソフトウェア、タッチスクリーンを備えていて、使いやすい。
| 項目 | パラメータ |
加工材料 | シリコンチップ、電子部品、脆性材料 |
適用ウエハサイズ | 3 ~ 8インチ |
装置寸法 | 1380 (W) x 1210 (D)* x 1873 (H) |
場務条件 | 10KVA, 200V, 3 Phase, 50/60 Hz |
圧縮空気圧 | ≧5.0 Kg/cm |
| 脱イオン水圧力 | 1.0-1.5Kg/cm |
| 脱イオン水流量 | 5リットル/分 |
| 排気量 | 3m?/分 |
| 冷却水(真空ポンプ用) | 圧力:2.0Kg/cm |
| 流量 | 3リットル/分以上 |
| 冷却水(ポリッシュ冷却システム用) | 2.0Kg/cm |
| フロー | 3リットル/分以上 |
