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晶圆减薄机又称晶圆研磨机,属于半导体设备的一种,主要用于晶圆表面精细加工,适用于半导体硅片、电子元器件、功率器件加工等。它功能丰富,既可以快速制晶,高速磨床磨掉多余碳化物,还可以用于半导体生产和制造过程中的加工工序、用于检测电子设备的零部件。
目前,A股半导体上市公司已悉数披露2022年年报,Wind数据显示,2022年,我国半导体行业整体营收保持增长,净利润有所下滑,各个细分行业业绩分化显著,半导体设备行业业绩增速一枝独秀。
利用化学机械研磨方式,将晶圆的蚀刻面平整化为纳米级平滑度,并兼顾硅片的翘曲度、平坦度等各项指标,避免硅片在高端用途中微影蚀刻制程中遭遇到问题。
对于晶圆减薄工艺做部分补充,这里主要针对的是晶圆背面减薄工艺部分。