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冈本OKAMOTO全自动晶圆背面减薄机

GNX200B

1.研削加工技术:日本机械学会授予冈本标准传送方式及向下研磨方法技术奖。

2.机械精度的调整方法:通过主轴进行调整,因为可进行原点定位,所以精度调整相当高;可2处调节。


产品特点

1.研削加工技术:日本机械学会授予冈本标准传送方式及向下研磨方法技术奖。

2.机械精度的调整方法:通过主轴进行调整,因为可进行原点定位,所以精度调整相当高;可2处调节。

3. 标准润滑方式:润滑油及防护罩,防止进入异物造成磨损。

4. 设备刚性:高刚性,不会因老化造成精度变化,部件由冈本自产铸金一体化生产。

性能参数
项目参数
规格GNX200B
最大加工直径Ф200㎜
主轴转速范围0~3600rpm
主轴驱动电机功率2.2kW
主轴进给速度范围1~999μm/min
主轴数2
工作盘转速范围1~300rpm
研磨轮尺寸Ф254㎜
设备重量3900kg