GNX300B拥有BG研磨专利技术。1996年冈本凭DOWN FEED GRINDING技术得到日本机械学会颁奖,主轴机械精度可调,冈本自产铸金一体化结构,不易老化,精度持久,润滑系统有完善防护,避免异物进入造成磨损,适用晶圆尺寸:6”、8”、12” 最大晶圆厚度: 1000μm,可切换全自动、半自动操作模式,17 寸触控操作与监控屏,监控气压、电流、水流、厚度等,研磨耗材损耗小,加工成本低廉,研磨硅屑细小,冲洗更干净
GNX300B拥有BG研磨专利技术。1996年冈本凭DOWN FEED GRINDING技术得到日本机械学会颁奖,主轴机械精度可调,冈本自产铸金一体化结构,不易老化,精度持久,润滑系统有完善防护,避免异物进入造成磨损,适用晶圆尺寸:6”、8”、12” 最大晶圆厚度: 1000μm,可切换全自动、半自动操作模式,17 寸触控操作与监控屏,监控气压、电流、水流、厚度等,研磨耗材损耗小,加工成本低廉,研磨硅屑细小,冲洗更干净
项目 | 参数 |
规格 | GNX300B |
最大加工直径 | Ф300㎜ |
主轴转速范围 | 0~3000rpm |
主轴驱动电机功率 | 5.5kW |
研磨轮尺寸 | Ф300㎜ |
设备重量 | 5700kg |