SPP800S 是半自动通用抛光型设备，不仅可以处理氧化层和金属膜，而且可以去除晶圆表面损伤层。该机型装备有两个抛光头和一个定盘修正头，可实现高的吞吐量。它具有独特的软件和触摸屏，使用操作方便。
SPP800S 是半自动通用抛光型设备，不仅可以处理氧化层和金属膜，而且可以去除晶圆表面损伤层。该机型装备有两个抛光头和一个定盘修正头，可实现高的吞吐量。它具有独特的软件和触摸屏，使用操作方便。
| 项目 | 参数 |
加工材料 | 硅晶片、电子部品、脆性材料 |
适用晶圆尺寸 | 3 - 8 英寸 |
设备尺寸 | 1380 (W) x 1210 (D)* x 1873 (H) |
厂务条件 | 10KVA, 200V, 3 Phase, 50/60 Hz |
压缩空气压力 | ≧5.0 Kg/cm? |
| 去离子水压力 | 1.0-1.5Kg/cm? |
| 去离子水流量 | 5 升/分钟 |
| 排气量 | 3m?/分钟 |
| 冷却水（真空泵用） | 压力：2.0Kg/cm? |
| 流量 | 大于3 升/分钟 |
| 冷却水（抛光定盘冷却系统用） | 2.0Kg/cm? |
| 流量 | 大于3 升/分钟 |
