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晶圆贴膜撕膜机
晶圆减薄机
晶圆抛光机
减薄用砂轮
CMP抛光液
12英寸Si晶圆使用30000目的砂轮进行减薄,使用超微粒金刚石磨轮进行减薄、试着减薄到了最薄的程度