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晶圆贴膜撕膜机

晶圆减薄机

晶圆抛光机

减薄用砂轮

CMP抛光液

BG胶带贴膜机

DR3000III

BG胶带贴膜机到晶圆背面减薄

产品特点

用于凸点晶圆片

桌面加热功能 (Max. 100deg.C)

滚轮加热功能(Max. 80deg.C) 

层压压力均匀


用于翘曲晶圆

真空吸附机械臂

压力板

真空吸附定位校正器

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性能参数

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