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晶圆贴膜撕膜机
晶圆减薄机
晶圆抛光机
减薄用砂轮
CMP抛光液
BG胶带撕膜机(HR3000III)
适用于翘曲晶圆/薄晶圆
DSC &特殊机械臂(可选)
压力板
大直径定位校准台
适用于强粘BG胶带
紫外线照射(可选)
胶带剥离触发器