机械臂传送晶圆
非接触式晶圆校正
触摸屏操作方便
离子发生器装备
联网功能(选配)
紫外线照射(选配)
| 晶圆 | 8”, 6”, 5” |
| 产能 | 85UHP(Standard) |
| 尺寸 | W1,010 x D1,0200 x H1, 550mm |
| 电压 | AC100V |
| 气压 | 0.5MPa |
可处理 8""/6""/5"" 的晶圆
具有处理 4"" 晶圆的功能（可选）
工作台加热功能
可用于较薄的晶圆（TW 系列）
触摸面板，便于操作
符合 CE mark 规范要求。
符合 SECS/GEM 标准
可用晶圆尺寸：8/6/5/4 英寸 (in)
可用晶圆厚度：250 um 或更厚 TW 系列：150 um 或更厚
吞吐量：85 晶圆/小时（TW 系列：68 晶圆/小时）
